碼盤蝕刻的工藝流程與技術要點

以下是關於（yú）‌碼盤蝕刻‌的工藝（yì）流程及技術要點，綜（zōng）合（hé）金屬與玻璃材質加工工藝：

一、核（hé）心工藝流程‌

1、基材準備（bèi）‌

金屬碼盤‌：常用SUS304不鏽鋼（厚度（dù）0.1~2.0mm）或銅材，需經除油、酸洗去除氧化層，確保表（biǎo）麵潔淨。

玻璃（lí）碼盤‌：采用光學玻璃（lí）（如K9、石英（yīng）），需拋（pāo）光至表麵粗糙（cāo）度<0.02μm。

2、圖形轉移（yí）‌

掩膜製作‌：金屬碼（mǎ）盤噴塗感光油墨（靜電（diàn）除塵後），UV曝光顯影（yǐng）形成圖案；玻璃碼（mǎ）盤采用光刻膠+激光光刻（德國設備，精度達納米級（jí））。

半刻工藝‌：支持LOGO或編號蝕刻，深度可控（kòng）。

3、蝕刻加工‌

金屬蝕（shí）刻‌：

濕法：FeCl₃溶液（40~50℃）蝕刻不鏽鋼，側蝕率<10%，精度±0.01mm。

幹法：等離子蝕刻（CF₄/O₂）用（yòng）於高精（jīng）度需求。

玻璃蝕刻‌：氫（qīng）氟酸溶液腐蝕，需控製（zhì）濃度與時間避免過度刻（kè）蝕。

4、後處理‌

去膜清洗：金屬碼盤用NaOH溶液去膠，玻璃碼盤需氧等離子灰化殘（cán）留（liú）。

防腐蝕處理：金屬碼盤可鍍鎳或鈍（dùn）化（鉻酸鹽），玻璃碼盤鍍增透膜。

二、技術優勢‌

無毛刺變形‌：化學蝕刻避（bì）免機械應力，保持材料平整（zhěng）度（金屬碼盤≤0.02mm）。

複雜圖（tú）形‌：支持微米級碼道（最（zuì）小0.06mm）及異（yì）形結構（gòu）加（jiā）工。

量產效率‌：卷對卷工藝日（rì）產能達1000㎡（金（jīn）屬），玻璃碼盤批量交（jiāo）期3天（tiān）。

三、應用場景（jǐng）‌

編碼器‌：高精度碼道（±0.0075mm）確保信號穩定性。

光電設備‌：玻璃碼盤用於激光測距、光柵傳感（gǎn）器。